ナノインプリントの開発とデバイス応用 Development of Nanoimprint and Device Applications
著者
書誌事項
ナノインプリントの開発とデバイス応用 = Development of Nanoimprint and Device Applications
シーエムシー出版, 2011.10
- タイトル別名
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エレクトロニクスシリーズ
High technology information
- タイトル読み
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ナノインプリント ノ カイハツ ト デバイス オウヨウ = Development of Nanoimprint and Device Applications
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内容説明・目次
目次
- 第1編 転写方式(熱ナノインプリント;光ナノインプリント;室温ナノインプリント ほか)
- 第2編 装置と関連部材(ナノインプリント装置;モールド;樹脂 ほか)
- 第3編 デバイス応用(光デバイス;電子デバイス;エネルギーデバイス ほか)
「BOOKデータベース」 より