RF MEMS技術の応用展開

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RF MEMS技術の応用展開

大和田邦樹監修

（CMCテクニカルライブラリー, 417 . 新材料・新素材シリーズ||シンザイリョウ シンソザイ シリーズ）

シーエムシー出版, 2012.2

普及版

タイトル別名

Applications and Progress for RF MEMS Technology

RF MEMS技術の最前線 : ワイヤレス時代のキーテクノロジー

タイトル読み

RF MEMS ギジュツ ノ オウヨウ テンカイ

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注記

初版のタイトルは「普及版の刊行にあたって」による

初版のタイトル: RF MEMS技術の最前線 : ワイヤレス時代のキーテクノロジー(2006年刊)

文献: 各章末

内容説明・目次

目次

  • １　総論（ＭＥＭＳ技術の概要；ＲＦ　ＭＥＭＳ技術の概要）
  • ２　プロセス技術（プロセス基盤技術；ＲＦ　ＭＥＭＳのプロセス技術　ほか）
  • ３　設計技術（ＭＥＭＳ構造体の力学的設計技術；ＭＥＭＳ構造体のＲＦ設計技術）
  • ４　デバイス技術（単結晶シリコンメンブレン型スイッチ；線路駆動型スイッチとメタルカンチレバー型スイッチ　ほか）
  • ５　応用技術（６０ＧＨｚ帯送・受信フロントエンドモジュール；高効率デュアルバンド増幅器　ほか）

「BOOKデータベース」 より

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