Polarized raman spectroscopy for the spatially and tensor-resolved stress analysis of silicon microdevices

著者

• 宮武, 岳洋 ミヤタケ, タカヒロ

書誌事項

Polarized raman spectroscopy for the spatially and tensor-resolved stress analysis of silicon microdevices

Takahiro Miyatake

[Takahiro Miyatake], [2011?]

注記

学位論文(工学博士,京都工芸繊維大学,平成23年9月26日,甲第614号)

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB08473029
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: [Kyoto]
• ページ数/冊数: 114 p.
• 大きさ: 30 cm