ポリイミドをターゲットとして高周波スパッタリング法により作製した有機薄膜の表面特性と密着に関する研究

Author(s)

    • 上村, 彰宏 ウエムラ, アキヒロ

Bibliographic Information

ポリイミドをターゲットとして高周波スパッタリング法により作製した有機薄膜の表面特性と密着に関する研究

上村彰宏[著]

[上村彰宏], [2009.1]

Title Transcription

ポリイミド オ ターゲット トシテ コウシュウハ スパッタリングホウ ニヨリ サクセイシタ ユウキ ハクマク ノ ヒョウメン トクセイ ト ミッチャク 二 カンスル ケンキュウ

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Note

博士論文(金沢大学, 2008, 博甲第1085号)

Details

  • NCID
    BB08922982
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [金沢]
  • Pages/Volumes
    iv, 126p
  • Size
    30cm
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