ポリイミドをターゲットとして高周波スパッタリング法により作製した有機薄膜の表面特性と密着に関する研究

著者

    • 上村, 彰宏 ウエムラ, アキヒロ

書誌事項

ポリイミドをターゲットとして高周波スパッタリング法により作製した有機薄膜の表面特性と密着に関する研究

上村彰宏[著]

[上村彰宏], [2009.1]

タイトル読み

ポリイミド オ ターゲット トシテ コウシュウハ スパッタリングホウ ニヨリ サクセイシタ ユウキ ハクマク ノ ヒョウメン トクセイ ト ミッチャク 二 カンスル ケンキュウ

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注記

博士論文(金沢大学, 2008, 博甲第1085号)

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BB08922982
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    [金沢]
  • ページ数/冊数
    iv, 126p
  • 大きさ
    30cm
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