ポリイミドをターゲットとして高周波スパッタリング法により作製した有機薄膜の表面特性と密着に関する研究
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ポリイミドをターゲットとして高周波スパッタリング法により作製した有機薄膜の表面特性と密着に関する研究
[上村彰宏], [2009.1]
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ポリイミド オ ターゲット トシテ コウシュウハ スパッタリングホウ ニヨリ サクセイシタ ユウキ ハクマク ノ ヒョウメン トクセイ ト ミッチャク 二 カンスル ケンキュウ
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注記
博士論文(金沢大学, 2008, 博甲第1085号)
