Handbook of physical vapor deposition (PVD) processing

著者

• Mattox, D. M.

書誌事項

Handbook of physical vapor deposition (PVD) processing

Donald M. Mattox

William Andrew, c2010

2nd ed

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB09012531
• ISBN:
  • 9780815520375
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Kidlington, Oxford
• ページ数/冊数: xlvi, 746 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • DC22 : 671.735
• 件名:
  • LCSH : Physical vapor deposition -- Handbooks, manuals, etc