Precision nanometrology : sensors and measuring systems for nanomanufacturing

著者

• Gao, Wei, Ph. D.

書誌事項

Precision nanometrology : sensors and measuring systems for nanomanufacturing

Wei Gao

（Springer series in advanced manufacturing / series editor, D. T. Pham）

Springer, c2010

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB09181685
• ISBN:
  • 9781849962537
• LCCN: 2010929852
• 出版国コード: uk
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: London
• ページ数/冊数: xiii, 354 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TA418.9.N35
  • DC22 : 620.50287
• 件名:
  • LCSH : Nanomanufacturing
  • LCSH : Nanostructured materials -- Measurement
• 親書誌ID:
  • BA82672875