STMによる界面微細加工技術の開発とそれによる量子波干渉デバイス構造の構築

書誌事項

STMによる界面微細加工技術の開発とそれによる量子波干渉デバイス構造の構築

研究代表者 渡辺洋右

(科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成11年度~平成12年度)

[渡辺洋右], 2002.3

タイトル別名

平成11年度~平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2)展開研究)研究成果報告書(課題番号 11555082)

タイトル読み

STM ニ ヨル カイメン ビサイ カコウ ギジュツ ノ カイハツ ト ソレニ ヨル リョウシハ カンショウ デバイス コウゾウ ノ コウチク

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注記

課題番号: 11555082

印刷及び頁付: 紙面片側のみ

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BB09222771
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpneng
  • 出版地
    [仙台]
  • ページ数/冊数
    19p, 図版2枚
  • 大きさ
    30cm
  • 親書誌ID
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