ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術 : 成膜技術と膜・界面の物性科学

Author(s)

    • 岩井, 洋 イワイ, ヒロシ

Bibliographic Information

ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術 : 成膜技術と膜・界面の物性科学

岩井洋 [ほか著]

エヌ・ティー・エス, 2012.7

Other Title

ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術

ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術 : 成膜技術と膜界面の物性科学

Title Transcription

ナノエレクトロニクス ニ オケル ゼツエン チョウハクマク ギジュツ : セイマク ギジュツ ト マク カイメン ノ ブッセイ カガク

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Note

著者のヨミは推定による

参考・引用文献: 各章末

Details

  • NCID
    BB09682498
  • ISBN
    • 9784864690393
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    22, 2, 4, 338, 11p
  • Size
    27cm
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