ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術 : 成膜技術と膜・界面の物性科学

著者

• 岩井, 洋 イワイ, ヒロシ

書誌事項

ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術 : 成膜技術と膜・界面の物性科学

岩井洋 [ほか著]

エヌ・ティー・エス, 2012.7

タイトル別名

ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術

ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術 : 成膜技術と膜界面の物性科学

タイトル読み

ナノエレクトロニクス ニ オケル ゼツエン チョウハクマク ギジュツ : セイマク ギジュツ ト マク カイメン ノ ブッセイ カガク

注記

著者のヨミは推定による

参考・引用文献: 各章末

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB09682498
• ISBN:
  • 9784864690393
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 22, 2, 4, 338, 11p
• 大きさ: 27cm