炭化ケイ素結晶の異方性 : 高温酸化と表面プロセス変形によるアプローチ

Author(s)

• 成島, 尚之 ナルシマ, タカユキ

Bibliographic Information

炭化ケイ素結晶の異方性 : 高温酸化と表面プロセス変形によるアプローチ

成島尚之研究代表

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成14年度-平成15年度）

[成島尚之], 2004.5

Other Title

平成14年度-平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書(課題番号14550696)

Title Transcription

タンカ ケイソ ケッショウ ノ イホウセイ : コウオン サンカ ト ヒョウメン プロセス ヘンケイ ニヨル アプローチ

Details

• NCID: BB10013688
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: [仙台]
• Pages/Volumes: 183枚
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30195401