炭化ケイ素結晶の異方性 : 高温酸化と表面プロセス変形によるアプローチ
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炭化ケイ素結晶の異方性 : 高温酸化と表面プロセス変形によるアプローチ
（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成14年度-平成15年度）
[成島尚之], 2004.5
- タイトル別名
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平成14年度-平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書(課題番号14550696)
- タイトル読み
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タンカ ケイソ ケッショウ ノ イホウセイ : コウオン サンカ ト ヒョウメン プロセス ヘンケイ ニヨル アプローチ
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