UMS技術を用いた超高周波SAWデバイス用単結晶基板表面の評価技術の開発

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UMS技術を用いた超高周波SAWデバイス用単結晶基板表面の評価技術の開発

研究代表者 櫛引淳一

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成12年度-平成14年度）

[櫛引淳一], 2003.5

Title Transcription

UMS ギジュツ オ モチイタ チョウコウシュウハ SAW デバイスヨウ タンケッショウ キバン ヒョウメン ノ ヒョウカ ギジュツ ノ カイハツ

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課題番号: 12450119

平成12年度～平成14年度科学研究費補助金[基盤研究(B)(2)]研究成果報告書

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Details

  • NCID
    BB10046031
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [仙台]
  • Pages/Volumes
    200p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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