次世代光リソグラフィーの真空紫外光学材料応用フッ化物単結晶の開発

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次世代光リソグラフィーの真空紫外光学材料応用フッ化物単結晶の開発

研究代表者 福田承生

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成12年度-平成14年度）

[福田承生], 2002.3

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ジ セダイ ヒカリ リソグラフィー ノ シンクウ シガイ コウガク ザイリョウ オウヨウ フッカブツ タンケッショウ ノ カイハツ

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課題番号: 12555001

平成12年度～平成14年度科学研究費補助金基盤研究(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

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Details

  • NCID
    BB10075754
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [仙台]
  • Pages/Volumes
    1册
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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