次世代光リソグラフィーの真空紫外光学材料応用フッ化物単結晶の開発

書誌事項

次世代光リソグラフィーの真空紫外光学材料応用フッ化物単結晶の開発

研究代表者 福田承生

(科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成12年度-平成14年度)

[福田承生], 2002.3

タイトル読み

ジ セダイ ヒカリ リソグラフィー ノ シンクウ シガイ コウガク ザイリョウ オウヨウ フッカブツ タンケッショウ ノ カイハツ

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注記

課題番号: 12555001

平成12年度~平成14年度科学研究費補助金基盤研究(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BB10075754
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpneng
  • 出版地
    [仙台]
  • ページ数/冊数
    1册
  • 大きさ
    30cm
  • 親書誌ID
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