次世代光リソグラフィーの真空紫外光学材料応用フッ化物単結晶の開発
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次世代光リソグラフィーの真空紫外光学材料応用フッ化物単結晶の開発
（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成12年度-平成14年度）
[福田承生], 2002.3
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ジ セダイ ヒカリ リソグラフィー ノ シンクウ シガイ コウガク ザイリョウ オウヨウ フッカブツ タンケッショウ ノ カイハツ
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注記
課題番号: 12555001
平成12年度～平成14年度科学研究費補助金基盤研究(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
