誘導結合フロロカーボンプラズマの特性の理論的研究

Author(s)

• 南部, 健一 ナンブ, ケンイチ

Bibliographic Information

誘導結合フロロカーボンプラズマの特性の理論的研究

南部健一研究代表

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成14年度-平成15年度）

[南部健一], 2004.5

Other Title

平成14年度-平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号14350088)

Title Transcription

ユウドウ ケツゴウ フロロカーボン プラズマ ノ トクセイ ノ リロンテキ ケンキュウ

Details

• NCID: BB10130003
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [仙台]
• Pages/Volumes: 39p
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30193701