Si(110)面金属基板SOI・Balanced-CMOS超高速高精度集積回路

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Si(110)面金属基板SOI・Balanced-CMOS超高速高精度集積回路

大見忠弘研究代表

（科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書, 平成14年度-平成15年度）

[大見忠弘], 2004.3

Other Title

平成14年度-平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書(課題番号14205052)

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Si 110 メン キンゾク キバン SOI Balanced CMOS チョウコウソク コウセイド シュウセキ カイロ

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Details

  • NCID
    BB10136021
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [仙台]
  • Pages/Volumes
    89p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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