Si(110)面金属基板SOI・Balanced-CMOS超高速高精度集積回路
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書誌事項
Si(110)面金属基板SOI・Balanced-CMOS超高速高精度集積回路
(科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書, 平成14年度-平成15年度)
[大見忠弘], 2004.3
- タイトル別名
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平成14年度-平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書(課題番号14205052)
- タイトル読み
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Si 110 メン キンゾク キバン SOI Balanced CMOS チョウコウソク コウセイド シュウセキ カイロ
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