SiGe基板単結晶の低欠陥化と歪みを制御した機能性ヘテロ構造の創製

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SiGe基板単結晶の低欠陥化と歪みを制御した機能性ヘテロ構造の創製

中嶋一雄研究代表

（科学研究費補助金(基盤研究(S))研究成果報告書, 平成14年度-平成18年度）

[中嶋一雄], 2007.5

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平成14年度～平成18年度科学研究費補助金(基盤研究(S))研究成果報告書 : 14102020

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SIGE キバンタンケッショウ ノ テイケッカンカ ト ヒズミ オ セイギョ シタ キノウセイ ヘテロ コウゾウ ノ ソウセイ

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課題番号: 14102020

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Details

  • NCID
    BB10250683
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [仙台]
  • Pages/Volumes
    106p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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