SiGe基板単結晶の低欠陥化と歪みを制御した機能性ヘテロ構造の創製
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SiGe基板単結晶の低欠陥化と歪みを制御した機能性ヘテロ構造の創製
（科学研究費補助金(基盤研究(S))研究成果報告書, 平成14年度-平成18年度）
[中嶋一雄], 2007.5
- タイトル別名
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平成14年度～平成18年度科学研究費補助金(基盤研究(S))研究成果報告書 : 14102020
- タイトル読み
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SIGE キバンタンケッショウ ノ テイケッカンカ ト ヒズミ オ セイギョ シタ キノウセイ ヘテロ コウゾウ ノ ソウセイ
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注記
課題番号: 14102020