マイクロ波-レーザ計測技術の開発とシリコンウェーハの局所的導電率の非接触計測
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マイクロ波-レーザ計測技術の開発とシリコンウェーハの局所的導電率の非接触計測
（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成13年度～平成14年度）
[巨陽], 2003.3
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平成13年度～平成14年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
Development of a microwave-Laser measurement technique and contactless measurement of conductivity of silicon wafer in an infinitesimal area
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マイクロハ レーザ ケイソク ギジュツ ノ カイハツ ト シリコンウェーハ ノ キョクショテキ ドウデンリツ ノ ヒセッショク ケイソク
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Note
課題番号: 13555192
研究代表者 巨陽(東北大学大学院工学研究科 助手)