マイクロ波-レーザ計測技術の開発とシリコンウェーハの局所的導電率の非接触計測

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マイクロ波-レーザ計測技術の開発とシリコンウェーハの局所的導電率の非接触計測

研究代表者 巨陽

(科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成13年度~平成14年度)

[巨陽], 2003.3

Other Title

平成13年度~平成14年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

Development of a microwave-Laser measurement technique and contactless measurement of conductivity of silicon wafer in an infinitesimal area

Title Transcription

マイクロハ レーザ ケイソク ギジュツ ノ カイハツ ト シリコンウェーハ ノ キョクショテキ ドウデンリツ ノ ヒセッショク ケイソク

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Note

課題番号: 13555192

研究代表者 巨陽(東北大学大学院工学研究科 助手)

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Details

  • NCID
    BB10405655
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [仙台]
  • Pages/Volumes
    8, 75p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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