マイクロ波-レーザ計測技術の開発とシリコンウェーハの局所的導電率の非接触計測

Author(s)

• 巨, 陽 キョ, ヨウ ju, yang

Bibliographic Information

マイクロ波-レーザ計測技術の開発とシリコンウェーハの局所的導電率の非接触計測

研究代表者 巨陽

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成13年度～平成14年度）

[巨陽], 2003.3

Other Title

平成13年度～平成14年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

Development of a microwave-Laser measurement technique and contactless measurement of conductivity of silicon wafer in an infinitesimal area

Title Transcription

マイクロハ レーザ ケイソク ギジュツ ノ カイハツ ト シリコンウェーハ ノ キョクショテキ ドウデンリツ ノ ヒセッショク ケイソク

Note

課題番号: 13555192

研究代表者 巨陽(東北大学大学院工学研究科 助手)

• NCID: BB10405655
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [仙台]
• Pages/Volumes: 8, 75p
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30193701