SiGe混晶基板を利用した歪み制御Si系高機能電子デバイスに関する研究

Author(s)

• 宇佐美, 徳隆 ウサミ, ノリタカ

Bibliographic Information

SiGe混晶基板を利用した歪み制御Si系高機能電子デバイスに関する研究

宇佐美徳隆 研究代表者

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書）

[宇佐美徳隆], 2003.3

Other Title

平成13年度〜平成14年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号13555086)

Title Transcription

SIGE コンショウキバン オ リヨウシタ ヒズミ セイギョ SIケイ コウキノウ デンシ デバイス ニカンスル ケンキュウ

Details

• NCID: BB10413722
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [仙台]
• Pages/Volumes: 60p
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30193701