炭化ケイ素のECRプラズマ酸化によるシリコンナノ粒子分散薄膜の作製とEL特性
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炭化ケイ素のECRプラズマ酸化によるシリコンナノ粒子分散薄膜の作製とEL特性
(科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成14-16年度)
[後藤孝], 2005.3
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タンカ ケイソ ノ ECR プラズマ サンカ ニ ヨル シリコン ナノ リュウシ ブンサン ハクマク ノ サクセイ ト EL トクセイ
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注記
研究課題番号: 14350346
平成14~16年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書