CCDマルチチャンネルアナライザを用いる瞬間分光型マイクロエリプソメータの試作

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CCDマルチチャンネルアナライザを用いる瞬間分光型マイクロエリプソメータの試作

研究代表者 杉本克久

（科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書, 平成7年度～平成8年度）

[杉本克久], 1997.3

Other Title

平成7年度～平成8年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

Title Transcription

CCD マルチチャンネル アナライザ オ モチイル シュンカン ブンコウガタ マイクロ エリプソメータ ノ シサク

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課題番号: 07555510

研究代表者 杉本克久(東北大学工学部教授)

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Details

  • NCID
    BB10464993
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [仙台]
  • Pages/Volumes
    81p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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