デスクトップ型および可搬型ナノ構造欠陥その場分析装置の開発

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デスクトップ型および可搬型ナノ構造欠陥その場分析装置の開発

研究代表者 白井泰治

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成10年度～平成11年度）

白井泰治, 2000.12

Other Title

平成10年度～平成11年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

Title Transcription

デスクトップガタ オヨビ カハンガタ ナノ コウゾウ ケッカン ソノ バ ブンセキ ソウチ ノ カイハツ

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Note

課題番号: 10555212

研究分担者: 荒木秀樹

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Details

  • NCID
    BB10518742
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [吹田]
  • Pages/Volumes
    47p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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