デスクトップ型および可搬型ナノ構造欠陥その場分析装置の開発

書誌事項

デスクトップ型および可搬型ナノ構造欠陥その場分析装置の開発

研究代表者 白井泰治

(科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成10年度~平成11年度)

白井泰治, 2000.12

タイトル別名

平成10年度~平成11年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

タイトル読み

デスクトップガタ オヨビ カハンガタ ナノ コウゾウ ケッカン ソノ バ ブンセキ ソウチ ノ カイハツ

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注記

課題番号: 10555212

研究分担者: 荒木秀樹

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BB10518742
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpneng
  • 出版地
    [吹田]
  • ページ数/冊数
    47p
  • 大きさ
    30cm
  • 親書誌ID
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