半導体材料に対する高エネルギーイオン照射効果の「その場」測定

著者

• 浅井, 圭介 アサイ, ケイスケ

書誌事項

半導体材料に対する高エネルギーイオン照射効果の「その場」測定

研究代表者 浅井圭介

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成14年度-平成16年度）

[浅井圭介], 2005.5

タイトル読み

ハンドウタイ ザイリョウ ニ タイスル コウエネルギー イオン ショウシャ コウカ ノ ソノ バ ソクテイ

注記

課題番号: 14380233

平成14年度～平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB10519610
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: eng
• 出版地: [仙台]
• ページ数/冊数: 1册
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30193701