化学的機械研磨(CMP)プロセスにおける研磨粒子凝集体の圧縮・ずり変形挙動の解明

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化学的機械研磨(CMP)プロセスにおける研磨粒子凝集体の圧縮・ずり変形挙動の解明

塚田隆夫研究代表

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成15年度-平成16年度）

[塚田隆夫], 2005.3

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平成15年度-平成16年度科学研究費補助金基盤研究(B)(2)研究成果報告書(課題番号15360407)

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カガクテキ キカイ ケンマ (CMP) プロセス ニオケル ケンマ リュウシ ギョウシュウタイ ノ アッシュク ズリ ヘンケイ キョドウ ノ カイメイ

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参考文献: p36

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Details

  • NCID
    BB10657534
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [仙台]
  • Pages/Volumes
    36p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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