化学的機械研磨(CMP)プロセスにおける研磨粒子凝集体の圧縮・ずり変形挙動の解明

著者

• 塚田, 隆夫 ツカダ, タカオ

書誌事項

化学的機械研磨(CMP)プロセスにおける研磨粒子凝集体の圧縮・ずり変形挙動の解明

塚田隆夫研究代表

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成15年度-平成16年度）

[塚田隆夫], 2005.3

タイトル別名

平成15年度-平成16年度科学研究費補助金基盤研究(B)(2)研究成果報告書(課題番号15360407)

タイトル読み

カガクテキ キカイ ケンマ (CMP) プロセス ニオケル ケンマ リュウシ ギョウシュウタイ ノ アッシュク ズリ ヘンケイ キョドウ ノ カイメイ

注記

参考文献: p36

• NII書誌ID(NCID): BB10657534
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [仙台]
• ページ数/冊数: 36p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30193701