圧力転写型加工による自律的超精密形状創成の実現のための基礎的研究
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書誌事項
圧力転写型加工による自律的超精密形状創成の実現のための基礎的研究
(科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書)
[清野慧], 1997.3
- タイトル別名
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平成8年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号07455414)
- タイトル読み
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アツリョク テンシャガタ カコウ ニヨル ジリツテキ チョウセイミツ ケイジョウ ソウセイ ノ ジツゲン ノ タメノ キソテキ ケンキュウ
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