速度可変シャッターを用いた軟X線多層膜の精密膜厚分布制御と非球面形状創成への応用
Author(s)
Bibliographic Information
速度可変シャッターを用いた軟X線多層膜の精密膜厚分布制御と非球面形状創成への応用
（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成15年度-平成16年度）
[羽多野忠], 2005.3
- Other Title
-
平成15年度～平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書(課題番号15560016)
- Title Transcription
-
ソクド カヘン シャッター オ モチイタ ナンXセン タソウマク ノ セイミツ マクアツ ブンプ セイギョ ト ヒキュウメン ケイジョウ ソウセイ エノ オウヨウ
Available at / 1 libraries
-
No Libraries matched.
- Remove all filters.
