異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合

Author(s)

• 益, 一哉 マス, カズヤ
• 年吉, 洋 トシヨシ, ヒロシ
• 町田, 克之 マチダ, カツユキ

Bibliographic Information

異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合

益一哉, 年吉洋, 町田克之監修

（新材料・新素材シリーズ）

シーエムシー出版, 2012.11

Other Title

Integration technology for heterogeneous advanced devices : basics and applications

High technology information

異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMSNEMSセンサCMOSLSIの融合

Title Transcription

イシュ キノウ デバイス シュウセキカ ギジュツ ノ キソ ト オウヨウ : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSI ノ ユウゴウ

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• 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合

  2012.11.

  Maruzen eBook Library

Note

参考文献あり

Details

• NCID: BB1082106X
• ISBN:
  • 9784781305868
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: ix, 279p
• Size: 27cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA83342253