強磁性・強誘電性酸化物系スパッタ薄膜の開発
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書誌事項
強磁性・強誘電性酸化物系スパッタ薄膜の開発
（科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書, 平成6年度～平成8年度）
[杉本諭], 1997.3
- タイトル別名
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平成6年度～平成8年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書
- タイトル読み
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キョウジセイ キョウ ユウデンセイ サンカブツケイ スパッタ ハクマク ノ カイハツ
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注記
課題番号: 06555199
研究代表者: 杉本 諭 (東北大学工学部助教授)