電子線励起による選択的化学反応を用いた原子オーダの材料プロセスの開発

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電子線励起による選択的化学反応を用いた原子オーダの材料プロセスの開発

研究代表者 八百隆文

（科学研究費補助金(一般研究A)研究成果報告書, 平成6年度）

[八百隆文], 1995.3

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デンシセン レイキ ニ ヨル センタクテキ カガク ハンノウ オ モチイタ ゲンシ オーダ ノ ザイリョウ プロセス ノ カイハツ

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課題番号: 03402024

平成6年度科学研究費補助金(一般研究(A))研究成果報告書

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Details

  • NCID
    BB10897902
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [仙台]
  • Pages/Volumes
    134p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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