金属基板SOI・メタルゲート高誘電率絶縁膜CMOS超高速集積回路の研究

著者

• 大見, 忠弘 オオミ, タダヒロ

書誌事項

金属基板SOI・メタルゲート高誘電率絶縁膜CMOS超高速集積回路の研究

研究代表者 大見忠弘

（科学研究費補助金(一般研究A)研究成果報告書, 平成5-6年度）

[大見忠弘], 1995.5

タイトル読み

キンゾク キバン SOI メタルゲート コウユウデンリツ ゼツエンマク CMOS チョウコウソク シュウセキ カイロ ノ ケンキュウ

注記

課題番号: 05402039

平成5～6年度科学研究費補助金(一般研究A)研究成果報告書

• NII書誌ID(NCID): BB10901679
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [仙台]
• ページ数/冊数: 232p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BN04213993