金属基板SOI・メタルゲート高誘電率絶縁膜CMOS超高速集積回路の研究

Author(s)

Bibliographic Information

金属基板SOI・メタルゲート高誘電率絶縁膜CMOS超高速集積回路の研究

研究代表者 大見忠弘

（科学研究費補助金(一般研究A)研究成果報告書, 平成5-6年度）

[大見忠弘], 1995.5

Title Transcription

キンゾク キバン SOI メタルゲート コウユウデンリツ ゼツエンマク CMOS チョウコウソク シュウセキ カイロ ノ ケンキュウ

Available at  / 1 libraries

Search this Book/Journal

Note

課題番号: 05402039

平成5～6年度科学研究費補助金(一般研究A)研究成果報告書

Related Books： 1-1 of 1

Details

  • NCID
    BB10901679
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [仙台]
  • Pages/Volumes
    232p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
Page Top