化学気相析出法による多成分系酸化物強誘電体薄膜のナノ構造制御と高機能化
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化学気相析出法による多成分系酸化物強誘電体薄膜のナノ構造制御と高機能化
（科学研究費補助金(一般研究A)研究成果報告書, 平成6年度）
[平井敏雄], 1995.3
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カガク キソウ セキシュツホウ ニ ヨル タセイブンケイ サンカブツ キョウ ユウデンタイ ハクマク ノ ナノ コウゾウ セイギョ ト タカバタ ノウゲ
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注記
研究課題番号: 05403017
平成6年度科学研究費補助金(一般研究(A))研究成果報告書