化学気相析出法による多成分系酸化物強誘電体薄膜のナノ構造制御と高機能化

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化学気相析出法による多成分系酸化物強誘電体薄膜のナノ構造制御と高機能化

研究代表者 平井敏雄

（科学研究費補助金(一般研究A)研究成果報告書, 平成6年度）

[平井敏雄], 1995.3

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カガク キソウ セキシュツホウ ニ ヨル タセイブンケイ サンカブツ キョウ ユウデンタイ ハクマク ノ ナノ コウゾウ セイギョ ト タカバタ ノウゲ

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研究課題番号: 05403017

平成6年度科学研究費補助金(一般研究(A))研究成果報告書

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Details

  • NCID
    BB10902310
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [仙台]
  • Pages/Volumes
    85p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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