薄膜系におけるインプランテーションによる化学反応促進機構の検証

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薄膜系におけるインプランテーションによる化学反応促進機構の検証

吉原賢二研究代表者

（科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書）

[吉原賢二], 1993.3

Other Title

[平成4年度]科学研究費補助金(一般研究(B)研究成果報告書(03453045)

Studies on chemical reaction induced by recoil implantation using a Thin Film Technique

Title Transcription

ハクマクケイ ニオケル インプランテーション ニヨル カガク ハンノウ ソクシン キコウ ノ ケンショウ

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Details

  • NCID
    BB1124720X
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    eng
  • Place of Publication
    [仙台]
  • Pages/Volumes
    36p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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