薄膜系におけるインプランテーションによる化学反応促進機構の検証

著者

• 吉原, 賢二 ヨシハラ, ケンジ

書誌事項

薄膜系におけるインプランテーションによる化学反応促進機構の検証

吉原賢二研究代表者

（科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書）

[吉原賢二], 1993.3

タイトル別名

[平成4年度]科学研究費補助金(一般研究(B)研究成果報告書(03453045)

Studies on chemical reaction induced by recoil implantation using a Thin Film Technique

タイトル読み

ハクマクケイ ニオケル インプランテーション ニヨル カガク ハンノウ ソクシン キコウ ノ ケンショウ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB1124720X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: eng
• 出版地: [仙台]
• ページ数/冊数: 36p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BN0345591X