Handbook of thin film deposition : techniques, processes, and technologies

著者

• Seshan, Krishna

書誌事項

Handbook of thin film deposition : techniques, processes, and technologies

edited by Krishna Seshan

William Andrew , Elsevier [distributor], c2012

3rd ed

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB1140025X
• ISBN:
  • 9781437778731
• 出版国コード: ne
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Waltham,Amsterdam
• ページ数/冊数: xviii, 392 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TK7872.T55
  • DC23 : 621.38152
• 件名:
  • LCSH : Thin films
  • LCSH : Thin film devices -- Design and construction