極薄ウェーハの諸問題とその信頼性徹底解説

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Bibliographic Information

極薄ウェーハの諸問題とその信頼性徹底解説

小柳光正編著

（Electronic Journal archives, no.465, 1127）

電子ジャーナル, 2012.8-

  • 2012
  • 2014

Other Title

極薄ウェーハの諸問題とその信頼性★徹底解説

極薄ウェーハの諸問題とその信頼性 : 徹底解説

極薄ウェハの諸問題とその信頼性

Title Transcription

ゴクウス ウェーハ ノ ショモンダイ ト ソノ シンライセイ テッテイ カイセツ

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Note

参考文献: 2012:p13-14

参考文献: 2014:p14-15

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Details

  • NCID
    BB11482130
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    冊
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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