極薄ウェーハの諸問題とその信頼性徹底解説

著者

• 小柳, 光正 コヤナギ, ミツマサ

書誌事項

極薄ウェーハの諸問題とその信頼性徹底解説

小柳光正編著

（Electronic Journal archives, no.465, 1127）

電子ジャーナル, 2012.8-

• 2012
• 2014

タイトル別名

極薄ウェーハの諸問題とその信頼性★徹底解説

極薄ウェーハの諸問題とその信頼性 : 徹底解説

極薄ウェハの諸問題とその信頼性

タイトル読み

ゴクウス ウェーハ ノ ショモンダイ ト ソノ シンライセイ テッテイ カイセツ

注記

参考文献: 2012:p13-14

参考文献: 2014:p14-15

2穴ファイル綴

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB11482130
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 冊
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BB10111949