極薄ウェーハの諸問題とその信頼性徹底解説

Author(s)

• 小柳, 光正 コヤナギ, ミツマサ

Bibliographic Information

極薄ウェーハの諸問題とその信頼性徹底解説

小柳光正編著

（Electronic Journal archives, no.465, 1127）

電子ジャーナル, 2012.8-

• 2012
• 2014

Other Title

極薄ウェーハの諸問題とその信頼性★徹底解説

極薄ウェーハの諸問題とその信頼性 : 徹底解説

極薄ウェハの諸問題とその信頼性

Title Transcription

ゴクウス ウェーハ ノ ショモンダイ ト ソノ シンライセイ テッテイ カイセツ

Note

参考文献: 2012:p13-14

参考文献: 2014:p14-15

2穴ファイル綴

• NCID: BB11482130
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 冊
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BB10111949