書誌事項

薄膜の評価技術ハンドブック

吉田貞史編集委員長

テクノシステム, 2013.1

タイトル別名

Handbook of thin film characterization technology

タイトル読み

ハクマク ノ ヒョウカ ギジュツ ハンドブック

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注記

監修: 金原粲

参考文献: 節末

索引: p609-624

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BB11488829
  • ISBN
    • 9784924728677
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    東京
  • ページ数/冊数
    14, 624p
  • 大きさ
    27cm
  • 分類
  • 件名
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