薄膜の評価技術ハンドブック
著者
書誌事項
薄膜の評価技術ハンドブック
テクノシステム, 2013.1
- タイトル別名
-
Handbook of thin film characterization technology
- タイトル読み
-
ハクマク ノ ヒョウカ ギジュツ ハンドブック
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注記
監修: 金原粲
参考文献: 節末
索引: p609-624