薄膜の評価技術ハンドブック

Author(s)

• 吉田, 貞史 ヨシダ, サダフミ
• 金原, 粲 キンバラ, アキラ

Bibliographic Information

薄膜の評価技術ハンドブック

吉田貞史編集委員長

テクノシステム, 2013.1

Other Title

Handbook of thin film characterization technology

Title Transcription

ハクマク ノ ヒョウカ ギジュツ ハンドブック

Note

監修: 金原粲

参考文献: 節末

索引: p609-624

Details

• NCID: BB11488829
• ISBN:
  • 9784924728677
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 14, 624p
• Size: 27cm
• Classification:
  • NDLC : ND371
  • NDC9 : 549.8
• Subject Headings:
  • NDLSH : 薄膜 -- 分析