新方式ECRアンテナによるプロセス用大面積均一プラズマの生成
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新方式ECRアンテナによるプロセス用大面積均一プラズマの生成
(科学研究費補助金(試験研究(B)(1))研究成果報告書, 平成7年度)
[佐藤徳芳], 1996.3
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平成7年度科学研究費補助金(試験研究(B)(1))研究成果報告書 : (課題番号05558053)
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シン ホウシキ ECR アンテナ ニ ヨル プロセスヨウ ダイメンセキ キンイツ プラズマ ノ セイセイ
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課題番号: 05558053
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