新方式ECRアンテナによるプロセス用大面積均一プラズマの生成

著者

• 佐藤, 徳芳 サトウ, ノリヨシ

書誌事項

新方式ECRアンテナによるプロセス用大面積均一プラズマの生成

佐藤徳芳研究代表者

（科学研究費補助金(試験研究(B)(1))研究成果報告書, 平成7年度）

[佐藤徳芳], 1996.3

タイトル別名

平成7年度科学研究費補助金(試験研究(B)(1))研究成果報告書 : (課題番号05558053)

タイトル読み

シン ホウシキ ECR アンテナ ニ ヨル プロセスヨウ ダイメンセキ キンイツ プラズマ ノ セイセイ

注記

課題番号: 05558053

片面印刷

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB11662223
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [仙台]
• ページ数/冊数: 133p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BN06454458