赤外反射分光法による半導体結晶表面の原子制御計測の開発

著者

• 庭野, 道夫 ニワノ, ミチオ

書誌事項

赤外反射分光法による半導体結晶表面の原子制御計測の開発

庭野道夫研究代表者

（科学研究費補助金(試験研究B(2))研究成果報告書, 平成7年度）

[庭野道夫], 1996.3

タイトル別名

平成7年度科学研究費補助金試験研究(B)(2)研究成果報告書 : (課題番号05555109)

タイトル読み

セキガイ ハンシャ ブンコウホウ ニ ヨル ハンドウタイ ケッショウ ヒョウメン ノ ゲンシ セイギョ ケイソク ノ カイハツ

注記

課題番号: 05555109

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• NII書誌ID(NCID): BB11700763
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [仙台]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BN09452958