赤外反射分光法による半導体結晶表面の原子制御計測の開発

Author(s)

    • 庭野, 道夫 ニワノ, ミチオ

Bibliographic Information

赤外反射分光法による半導体結晶表面の原子制御計測の開発

庭野道夫研究代表者

（科学研究費補助金(試験研究B(2))研究成果報告書, 平成7年度）

[庭野道夫], 1996.3

Other Title

平成7年度科学研究費補助金試験研究(B)(2)研究成果報告書 : (課題番号05555109)

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セキガイ ハンシャ ブンコウホウ ニ ヨル ハンドウタイ ケッショウ ヒョウメン ノ ゲンシ セイギョ ケイソク ノ カイハツ

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Note

課題番号: 05555109

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Details

  • NCID
    BB11700763
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [仙台]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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