プラズマプロセス用大面積プラズマの生成

著者

• 佐藤, 徳芳 サトウ, ノリヨシ

書誌事項

プラズマプロセス用大面積プラズマの生成

佐藤徳芳研究代表者

（科学研究費補助金(国際学術研究)研究成果報告書, 平成7年度）

[佐藤徳芳], 1996.3

タイトル別名

平成7年度科学研究費研究成果(国際学術研究) : (07044303)

タイトル読み

プラズマプロセスヨウ ダイメンセキ プラズマ ノ セイセイ

注記

課題番号: 07044303

情報源は標題紙による

科研費データベースにおける研究課題番号: 07044308

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB11775933
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [仙台]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BN06787009