エキシマーレーザーCVDによる高性能イオン導電性超格子薄膜の創製

著者

• 嵐, 治夫 アラシ, ハルオ

書誌事項

エキシマーレーザーCVDによる高性能イオン導電性超格子薄膜の創製

嵐治夫研究代表者

（科学研究費補助金(試験研究B)研究成果報告書）

[嵐治夫], 1993.3

タイトル別名

平成4年度科学研究費補助金(試験研究(B))研究成果報告書(研究課題番号03555163)

タイトル読み

エキシマーレーザー CVD ニ ヨル コウセイノウ イオン ドウデンセイ チョウコウシ ハクマク ノ ソウセイ

• NII書誌ID(NCID): BB11920362
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [仙台]
• ページ数/冊数: 80p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BN07858102